河北凈化廠(chǎng)房只是對(duì)廠(chǎng)房的一個(gè)總稱(chēng),它可以根據(jù)不同級(jí)別對(duì)應(yīng)不同的行業(yè),比如電子行業(yè)、醫(yī)藥行業(yè)等等,集成電路廠(chǎng)房也在其中,要求凈化哪里做得好呢?
集成電路生產(chǎn)制造清潔廠(chǎng)房對(duì)噪音、微振、光照強(qiáng)度等都是有有關(guān)的要求和要求,尤其是震動(dòng)的操縱,在凈化室的工程建筑總體設(shè)計(jì)上就需要有一定的要求。集成電路生產(chǎn)制造是高耗能的產(chǎn)業(yè)鏈,而清潔空調(diào)機(jī)組的耗能則占在其中的30%之上,因而環(huán)保節(jié)能安全性的凈化室設(shè)計(jì)方案和各種各樣能源收購(gòu)設(shè)計(jì)方案將是將來(lái)的發(fā)展前景。
伴隨著集成電路生產(chǎn)技術(shù)的持續(xù)升級(jí),流行大型廠(chǎng)早已進(jìn)入了納米技術(shù)時(shí)期,集成電路生產(chǎn)制造凈化廠(chǎng)房的設(shè)計(jì)方案修建和環(huán)保節(jié)能自主創(chuàng)新也必須持續(xù)提高,為制造商品生產(chǎn)制造出示確保。依據(jù)凈化室氣體循環(huán)系統(tǒng)特性能夠?qū)艋曳殖扇N種類(lèi):循環(huán)系統(tǒng)空調(diào)相互配合高效過(guò)濾器系統(tǒng)軟件、循環(huán)系統(tǒng)離心風(fēng)機(jī)相互配合濕試密封性系統(tǒng)軟件和FFU呼吸系統(tǒng)。種方式在小規(guī)模納稅人低級(jí)別要求的凈化室設(shè)計(jì)方案中被廣泛運(yùn)用,針對(duì)大規(guī)模的凈化室則存有運(yùn)作成本費(fèi)過(guò)高、占有室內(nèi)空間過(guò)大等缺陷。第二種方式的設(shè)計(jì)方案能夠考慮集成電路生產(chǎn)制造凈化室大規(guī)模的要求,但運(yùn)作成本費(fèi)較高,而且凈化室風(fēng)力、排風(fēng)量調(diào)整艱難,系統(tǒng)更新更新改造艱難,因而實(shí)際操作協(xié)調(diào)能力很低。